AOI坐标轴的移动定位是由位置伺服系统来完成的。位置伺服系统一般采用闭环或半闭环控制。(半)闭环控制的特点就是任一环节发生故障都可能导致系统定位不准确、不稳定或失效。

　　诊断定位故障环节就成为维修的关键。根据伺服系统的控制原理和系统接口的特性,对系统进行分解判断,已成为行之有效的方法。如下结合实例介绍了机械及电气环节的常见诊断方法。

　　1、故障现象：电机在加减速运行时系统抖动严重，在匀速运行时有轻微抖动。

　　故障排除：首先查看机械系统所有部件的紧固螺丝，因为系统部件松动容易引起系统振动，检测中发现发现丝杆底座螺丝松动，上紧后抖动有所减轻。拉动工作台，发现拉动过程中联轴器上下跳动，初步判断为电机与丝杆不同心，拆下电机、联轴器，重新安装，上电运行，抖动消失，问题解决。

　　2、故障现象：AOI影像仪扫描过程中Y轴图像出现重叠

　　故障排除：根据重叠情况初步判断为Y轴方向定位误差过大。首先将XY轴交流伺服驱动器互换，上电运行发现问题仍然存在，排除驱动器故障。

　　拆下XY轴伺服电机，将XY轴电机互换，上电运行，图像仍然重叠，排除电机故障。将电机调为高速，上电运行，发现联轴器处有异常声音，在联轴器转动过程中用电筒照射发现联轴器与电机轴有相对滑动，拆下联轴器发现联轴器电机侧过短，不能锁紧电机轴，更换长联轴器，上电调试，问题解决。